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在超精密加工机床中滚珠丝杠因其反向间隙小、传动效率高而得到了广泛的应用。精度更高的静压丝杠和摩擦驱动装置也逐渐用于超精密加工机床电动吊篮。并且建筑吊篮的丝杠螺母与溜板采用了浮动连接结构,从而减小了溜板起伏造成滚珠丝杠受压波动而引起的丝杠瞬间或永久的变形。同时也避免了由于滚珠丝杠本身弯曲引起的因丝杠旋转而造成的溜板运动误差,微型电动吊篮,因此实现了运动的最小位移分辨率≤0.01μm。
静压丝杠副的丝杠与螺母由于不直接接触,而是有一层高压液体膜相隔,所以没有由于摩擦而引起的爬行和反向间隙,因此可以长期保持精度,进给分辨率更高;又由于油膜具有均化作用,可以提高进给精度,在较长的行程上可以达到纳米级的定位分辨率。
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